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Русский Controlador de flujo másico de gas S300
Requisitos: Limpio, seco y no corrosivo.
Tipo de gas: Aire, N2, O2, Co2, He, H2, CH4, Ar, NH3, N2O, BCI3, H4Si, etc.
Escala completa: (0~20, 50, 100, 200, 500) sccm, (0~1, 2, 5, 10, 20, 30, 50) slm
Precisión: 0,3 % FS (≤30 % FS), 1,0 % SP (>30 % FS)
Relación de alcance: 50:1
Tiempo de respuesta: ≤0,5 s
Precisión de repetición: ±0,2 %FS
El controlador de flujo másico (MFC) de la serie S300 es un controlador de flujo másico de gas digital de alto rendimiento desarrollado para industrias fotovoltaicas, de semiconductores, de recubrimiento al vacío y otras.
Este producto adopta el chip sensor de flujo avanzado de grado industrial desarrollado independientemente por la empresa, combinado con la estructura del circuito de gas de pérdida de bajo voltaje y el circuito y algoritmo de control digital de alta precisión, para lograr un control de relación de alta precisión, alta estabilidad y amplio rango en un amplio rango de temperatura.
Este producto está equipado con comunicación de alta velocidad EtherCAT opcional o comunicación digital Modbus RTU RS485, lo que resulta conveniente para los usuarios.
El producto se ensambla, calibra y empaqueta en una sala de purificación de clase 1000 a una temperatura de 24 ± 2 ℃. Para garantizar la calidad del producto, su precisión, repetibilidad y otros indicadores de rendimiento deben inspeccionarse dos veces antes de la entrega.
Este producto adopta el chip sensor de flujo avanzado de grado industrial desarrollado independientemente por la empresa, combinado con la estructura del circuito de gas de pérdida de bajo voltaje y el circuito y algoritmo de control digital de alta precisión, para lograr un control de relación de alta precisión, alta estabilidad y amplio rango en un amplio rango de temperatura.
Este producto está equipado con comunicación de alta velocidad EtherCAT opcional o comunicación digital Modbus RTU RS485, lo que resulta conveniente para los usuarios.
El producto se ensambla, calibra y empaqueta en una sala de purificación de clase 1000 a una temperatura de 24 ± 2 ℃. Para garantizar la calidad del producto, su precisión, repetibilidad y otros indicadores de rendimiento deben inspeccionarse dos veces antes de la entrega.
