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Русский Controlador de flujo másico de gas S500
Requisitos: Limpio, seco y no corrosivo.
Tipo de gas: Aire, N2, O2, Co2, He, H2, CH4, Ar, etc.
Escala completa: (0~20, 50, 100, 200, 500) sccm, (0~1, 2, 5, 10, 20) slm
Precisión: 0,3 % FS (≤30 % FS), 1,0 % SP (>30 % FS)
Relación de alcance: 100:1
Tiempo de respuesta: ≤0,5 s
Precisión de repetición: ±0,2 %FS
El controlador de flujo másico (MFC) de la serie S500 es un controlador de flujo másico de gas digital de alto rendimiento desarrollado para industrias fotovoltaicas, de semiconductores, de recubrimiento al vacío y otras.
Este producto adopta el chip sensor de flujo avanzado de grado industrial desarrollado independientemente por la empresa, combinado con la estructura del circuito de gas de pérdida de bajo voltaje y el circuito y algoritmo de control digital de alta precisión, para lograr un control de relación de alta precisión, alta estabilidad y amplio rango en un amplio rango de temperatura.
